東京電子では、10⁻¹⁰Paという極高真空を造り出すことができる真空機器をはじめ、各種真空計やコントローラを提供しています。本ページでは、当社が展開する真空計やコントローラの選定にあたり、真空の圧力レンジ・領域から製品をお選びいただくことができます。
圧力領域別分類図
| 製品名 |  | |
| コンビネーションゲージ CC-10 |  |  |
| ミニチュアイオンゲージ IG-10 |  |  |
| ピラニゲージ PG-20/30 |  |  |
| コールドカソードゲージ CG-20 |  |  |
| 極高真空測定子 3BG |  |  |
| マイクロ真空計 MGC-05/TPM227 |  |  |
| コールドカソードゲージコントローラ NC-731LD |  |  |
| イオンゲージコントローラ GI-710 |  |  |
| イオンゲージコントローラ GI-720/720L |  |  |
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真空機器の圧力領域・測定レンジについて
真空機器の圧力領域・測定レンジを、ここでは大きく5つに分類しています。「超高真空」とは、圧力範囲が10⁻⁵Pa以下の真空領域のことで、さらに、10⁻⁹Pa以下の領域は「極高真空」と呼ばれます。
- 極高真空（XHV：Extreme High Vacuum）
- 超高真空（UHV：Ultra High Vacuum）
- 高真空（HV：High Vacuum）
- 中真空（MV：Medium Vacuum）
- 低真空（LV：Low Vacuum）
東京電子では「超高真空」「極高真空」といった、10⁻⁵Pa、10⁻⁹Pa以下の圧力領域にも対応した、多種多様な製品群を展開しています。
