製品の特長と利点
- 1.0×10⁻¹Pa～1.0×10⁴Paの測定範囲
- 故障に強い定温度型
- 小型なボディーで省スペース化が可能
従来製品・技術との違い
- 定温度型ピラニ真空計：熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節します
推奨用途・アプリケーション
- 光学薄膜生成装置
- 加速装置とUHV研究
- 電子デバイス製造装置
- 光電子工学のデバイス製造装置 ……など
製品仕様
| PG-20 | PG-30 | |
|---|---|---|
| 測定範囲 | 1.0×10-1 [Pa] ～ 1.0×104 [Pa] | 左記同様 |
| 出力信号 | (a) 制御出力 ・リレー接点出力容量 AC100V Maｘ、1A Max (設定値より圧力が低いとき出力ONとなる) ・設定範囲デジタル表示範囲の任意の2点において設定可能 (b) アナログ出力 ・0～5V F.S(1V/1桁) ・出力インピーダンス 1kΩ | 左記同様 |
| 使用温度，湿度 | 温度5～40℃、湿度90％以下(結露せぬこと) | 左記同様 |
| 電源 | AC85～132V、12VA以下(AC100V、50/60 Hz) | DC24V±10%、8W以下 |
| 外形寸法 | 96(W)×96(H)×120(D) [mm] (但し、突起部は除く) | 左記同様 |
| 測定子 | S-212(φ15/φ18) 他 | 左記同様 |
| 製品構成 | 本体、測定子、センサーケーブル、電源ケーブル | 左記同様 |
