製品の特長と利点
- 測定範囲は、3.00×10⁻⁹～1.00×10⁻³Pa（圧力表示範囲：1.33×10⁻⁹～1.32×10⁻³Pa）
- エミッション電流の現在値を、スイッチ操作にて確認可能
- フィラメント保護：イオン電流、エミッション電流、圧力のいずれかが規定値を外れた場合にフィラメントの通電を遮断します
製品仕様
| 測定範囲 | 3.00×10-9 ～1.00×10-3 [Pa] 圧力表示範囲は、1.33×10-9 ～1.32×10-3 [Pa] |
| 外形寸法、重量 | 200 (W) ×99 (H) ×364.5 (D) [mm] 約3[kg] |
| 使用電源 | AC100[V]±10[V]、1[A]、50/60[Hz] |
| 使用環境 | 温度：5～40[℃] 湿度：85[％RH]以下(結露せぬこと) |
| エミッション電流 | 4[mA]固定 （スイッチ操作にて現在値の確認可能） |
| アウトガス | 機能無し |
| アナログ出力 | I/Oコネクタ及びBNCコネクタから下記の電圧を出力 V=log10P ⇔ P=10V V：出力電圧[V] P：測定圧力[Pa] ※3.00×10-9[Pa]＝約-8.52[V]、1.00×10-3[Pa]＝-3.00[V] ※フィラメントがOFFの時、出力は0[V] |
| フィラメント保護 | ・イオン電流、エミッション電流、圧力のいずれかが規定値を外れた場合にフィラメン トの通電を遮断します。 ・イオン電流エラー：規定値(2.00E-6[A])以上で動作し、表示部にエラー(Err01)を点滅表 示します。 ・エミッション電流エラー：規定値(4.00E-3[A]±50％)を超えた場合に動作し、表示部に エラー(Err02)を点滅表示し、ステータス信号(EMI FAIL)が出力されます。 ・圧力OVERエラー：規定値(1.33E-3[Pa])以上で動作し、表示部に[oFF]を点滅表示及び OVERランプが赤色点灯し、ステータス信号(OVER)が出力されます。 |
| セットポイント出力 | 接点数：3点、設定値以下で接点閉・設定値以上で接点開 接点容量：DC50[V]、0.12[A](PhotoMOSリレー) スイッチ操作にて設定 ステータス表示ランプにて状態を表示 |
| フィラメント切替え | スイッチ操作で切替え ステータス表示ランプにて状態を表示 |
| センサー感度係数 | スイッチ操作にて設定可能 デフォルト値：0.19[Pa-1] |
| I/Oコネクタ | Dサブ25ピンコネクタ(メス) 出力：6点 SP出力(SP1、SP2、SP3) ステータス出力(FIL ON、OVER、EMI FAIL) 入力：2点 リモートFIL ON リモートFIL OFF アナログ出力：1点 |
| ANALOG OUT コネクタ | BNCコネクタ アナログ出力 |
| 適合センサー | キヤノンアネルバ社製ヌードイオンゲージ NIG-2F及びNIG-2TF |
