製品の特長と利点
- 広い測定範囲（大気圧から高真空までを切り換え操作無しで計測）
クリスタルゲージとコールドカソードゲージをコンビネーションさせ1.0×10⁻⁷Pa ～ 1.0×10⁵Paまで計測 - 大気圧検知ができるクリスタルゲージ
クリスタルゲージの採用により大気圧の検出が可能。精度の良い荒引き領域の計測ができる - 省配線、省スペースのトランスデューサー型真空計
センサーの小型化とディスプレイ付トランスデューサー型（コントローラ/センサー一体型）で、装置設計、真空計設置の省スペースが可能 - 堅牢なコールドカソードゲージ
- イージーメンテナンス
センサーのクリーニングが容易に出来るシンプルな構造
従来製品・技術との違い
- 大気圧計測可能なクリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせた複合型の真空計
- 超高真空（1.0×10⁻⁷Pa）～大気圧（1.0×10⁻⁵Pa）の12桁に及ぶ広い範囲を計測可能
- 回路とセンサーが一体で、コントローラの設置スペースを節減
推奨用途・アプリケーション
- 真空蒸着装置
- 光学薄膜生成装置
- 加速装置とUHV研究
- 電子デバイス製造装置
- 光電子工学のデバイス製造装置
- 真空装置のサービスツール ……など
製品仕様
| 測定範囲 | 1.0×10-7 [Pa] ～1.0×105 [Pa] 大気圧から高真空まで測定可能（自動切換） |
| センサー | クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ |
| 表示 | 7セグメントLED |
| セットポイント | 3点（1点独立、2点はコモン共通） 接点容量；DC50V、0.12[A] |
| デジタルインターフェース | RS-485 |
| フランジ | NW25、またはICF70 |
| 電源電圧 | DC 22～26 [V] Max 8 [W] ※ACでご使用の場合は別途ACアダプタ（オプション）が必要となります。 |
| 動作周囲温度 | 0～50[℃] |
| アナログ出力 | 10 [V]F.S. log出力または複合出力から選択 RS485デジタル通信 |
| ベーキング温度 | MAX 150℃（回路部を取り外すこと） |
| 外形寸法 | 94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm](NW25) 94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm](ICF70) 突起部は除く |
| 重量 | 840[g] （NW25） 1060[g] (ICF70) |
| 納期 | お打合せ下さい。 |
