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Technology

東京電子の技術

東京電子は、極高真空技術とパルスパワー技術で、先進社会を支える会社です。本ページでは、当社が展開する「真空機器事業」「電源装置事業」「受託質量ガス分析事業」について紹介します。

Vacuum Instrument

真空機器事業

究極の真空を造り、計る。

当社は究極の真空構造材、0.2% BeCu テクノロジーを基に、10⁻¹⁰Paという極高真空を造り出すことができます。この究極なテクノロジーにより、次世代半導体製造、高精度分析に貢献しています。

真空計

広範囲の圧力測定、連続測定に対応したコンビネーションゲージ CC-10をはじめ、最新のセンサー技術を取り入れた真空計を紹介します。センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本体のみで圧力表示から、セットポイントによるシステム制御までを完結できるなど、付加価値の高い製品を提供しています。

0.2% BeCu真空部品

東京電子が独自に開発した「0.2% BeCu 合金材料」の特性を生かした、さまざまな真空部品を紹介します。ステンレス鋼に代わる真空構造材としての「0.2% BeCu 合金材料」を組み合わせていただくことで、極・超高真空の環境を安心して構築、構成できます。

超高真空チャンバー(SUS・Al・Ti)

高真空・超高真空装置の構築に最適な超高真空チャンバーです。お客様のコストおよび、性能、目的などの要望に応じた幅広い選択性を提示します。

NEGポンプ(非蒸発型ゲッターポンプ)

NEG粉末を最新技術の非接触型アトマイズ法で製作し、粉を圧縮固化せず、粉状(グラニュー)のまま使用する新しい形態の「非蒸発型ゲッター(NEG:Non-Evoporable Getter)」ポンプです。NEG粉は真球であり、表面状態が非常に安定していることから排気速度も大きく、高信頼性の排気特性を示します。粉の表面は滑らかで安定していますので、再排気の時に表面層から放出される自己ガス放出が非常に小さく、UHV/XHV発生に最適です。

質量ガス分析計

センサー自身が発生するアウトガスを大幅に低減し、 極・超高真空における高精度なガス分析を実現しています。

INFICON社 質量ガス分析計

INFICON社製の質量ガス分析計およびシステム、コンパクトプロセスモニターを紹介します。MTBF向上とランニングコスト低減を実現した同社の分析計は、さまざまなガス種の高感度分析、モニタリングに貢献します。

質量ガス分析システム

MEMSなどの封止デバイスおよび、ウエハなどの極微小ガス分析に必要となる、超高感度質量ガス分析を実現します。

真空環境試験装置

真空製品の環境試験に必要な真空度を、自動で繰り返し設定、提供します。真空度・環境温度・サイクル時間管理などのさまざまなパラメーターを自由に設定可能です。

Analysis Services

受託質量ガス分析事業

次世代半導体、最先端のセンサ・デバイスの開発を支える。

東京電子では、当社の質量ガス分析技術を用いた受託分析事業を展開しています。極微小ガス分析、高感度質量ガス分析を必要とする、さまざまなお客様へ、破壊および非破壊によるガス成分分析、リークテスト、真空プロセス評価、品質管理、不良解析などのソリューションを提供します。

デバイス質量ガス分析

各真空プロセス後のガス分析により、プロセスの改善に貢献します。

ウエハ質量ガス分析

各種ウエハおよび、貼り合わせウエハからのガス分析によりプロセスの改善に貢献します。

MEMS質量ガス分析(封止デバイス)

封止圧(内圧)および、内圧ガスの成分分析を行います。

Power Electronics

電源装置事業

パルスパワーによる、最高パフォーマンスの電源装置。

大電力パルス、高電圧パルスがもたらす瞬間パワー。核融合実験炉のプラズマ発生、あるいは電子デバイスの成膜工程など、このパルステクノロジーは、サスティナブルなエネルギーのための核融合研究、あるいは豊かな先進社会を構築する高機能電子デバイスの開発に貢献しています。

核融合用加速電源

核融合においてプラズマ加熱をするための、高周波加熱装置ジャイロトロン駆動用高電圧パルス電源システムです。

加速器用電磁石電源

超電導ソレノイド電磁石、ビームライン電磁石などに使われる電源装置を提供します。

パルス電源

成膜用実験装置、プラズマ発生用、デバイス試験用など、さまざまな用途に応じたパルス電源を提供します。

加速器設備用電源(イオンポンプ)

加速器・クライストロン向け、小型・軽量型など、さまざまなお客様要望にお応えするイオンポンプ電源を提供します。

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