製品の特長と利点
- 広い測定範囲
ワイドレンジイオンゲージ - 優れた耐久性
金属製のセンサー、フィラメント2本標準装備、フィラメント断線防止の保護機能付き - センサー、回路・ディスプレイ一体型のトランスデューサー型
- 欧州規格EN（CE）に対応
推奨用途・アプリケーション
- 光学薄膜生成装置
- 加速装置とUHV研究
- 電子デバイス製造装置
- 光電子工学のデバイス製造装置 ……など
製品仕様
| 測定範囲 | 1.33×10-7 [Pa] ～ 6.66 [Pa] |
| 表示 | デジタル表示（仮数部3桁、指数部2桁） |
| フィラメント材質 | イットリアコートイリジウム |
| デガス | 3[W] ボンバード方式 |
| アナログ出力 | 0～9[V]（ログリニア）：1[V]/1桁 |
| 使用温度，湿度 | 0～40℃，0～95％(結露せぬこと) |
| ベーキング温度 | 200℃（回路部を取り外すこと） |
| 取り付け方向 | 制約なし |
| フランジ | NW25， ICF70 |
| 通信機能 | RS-485 |
| セットポイント | 1点 |
| 電源 | DC20～28V 13[W] ※ACでご使用の場合は別途ACアダプタ（オプション）が必要となります。 |
| 外形寸法 | W71×H82×D68 [mm] (BOX部分) |
| 納期 | お打合せ下さい。 |
