製品の特長と利点
- 微小ガス分析
- 破壊・非破壊分析
- 蓄積法によるE⁻¹⁵Pa・m³/sec（He）の極小リークテスト
- 超微小リーク校正ユニット（産総研）の保有（He）
- 真空プロセス評価、品質管理、工程解析に最適
製品仕様
| 分圧計の感度 | 2E-6A/Pa(FC) 1E-2A/Pa（EM使用時) |
| 最小検出分圧感度 | 1E-12Pa |
| 質量分析範囲 | 0~100, 200, 300amu |
| 最大動作圧力 | E-2Pa |
| グリッド脱ガス最高温度 | 1000℃ （40mAデカス時） |
| 取付フランジ | ICF070 (Cuガスケット） |
| PCコントロール | FabGuard Explorer （シングル、マルチ） |
| 通信 | イーサネット |
