マイクロ真空計 MGC-05、TPM227
◆MEMS加工技術により、シリコン基板から熱分離された薄膜と、熱電対からなるマイクロサイズの熱伝導真空計です。
◆発熱体を構成する材料などを工夫することによって、低圧側の測定幅を広げてあります。
◆Chipタイプと標準CANタイプ（写真）の2種類があります。お客様のご希望のパッケージでの実装も可能です。
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