B-Aゲージコントローラ GI-710
特徴
・3.00×10⁻⁹～1.00×10⁻³[Pa]、圧力表示範囲は、 1.33×10⁻⁹～1.32×10⁻³[Pa]
・エミッション電流の現在値を、スイッチ操作にて 確認可能
・フィラメント保護：イオン電流、エミッション電 流、圧力のいずれかが規定値を外れた場合にフィ ラメントの通電を遮断します。
製品仕様
| 測定範囲 | 3.00×10-9 ～1.00×10-3 [Pa] 圧力表示範囲は、1.33×10-9 ～1.32×10-3 [Pa] |
|
|---|---|---|
| 外形寸法、重量 | 200 (W) ×99 (H) ×364.5 (D) [mm] 約3[kg] | |
| 使用電源 | AC100[V]±10[V]、1[A]、50/60[Hz] | |
| 使用環境 | 温度：5～40[℃] 湿度：85[％RH]以下(結露せぬこと) |
|
| エミッション電流 | 4[mA]固定 （スイッチ操作にて現在値の確認可能） | |
| アウトガス | 機能無し | |
| アナログ出力 | I/Oコネクタ及びBNCコネクタから下記の電圧を出力 V=log10P ⇔ P=10V V：出力電圧[V] P：測定圧力[Pa] ※3.00×10-9[Pa]＝約-8.52[V]、1.00×10-3[Pa]＝-3.00[V] ※フィラメントがOFFの時、出力は0[V] |
|
| フィラメント保護 | ・イオン電流、エミッション電流、圧力のいずれかが規定値を外れた場合にフィラメン トの通電を遮断します。 ・イオン電流エラー：規定値(2.00E-6[A])以上で動作し、表示部にエラー(Err01)を点滅表 示します。 ・エミッション電流エラー：規定値(4.00E-3[A]±50％)を超えた場合に動作し、表示部に エラー(Err02)を点滅表示し、ステータス信号(EMI FAIL)が出力されます。 ・圧力OVERエラー：規定値(1.33E-3[Pa])以上で動作し、表示部に[oFF]を点滅表示及び OVERランプが赤色点灯し、ステータス信号(OVER)が出力されます。 |
|
| セットポイント出力 | 接点数：3点、設定値以下で接点閉・設定値以上で接点開 接点容量：DC50[V]、0.12[A](PhotoMOSリレー) スイッチ操作にて設定 ステータス表示ランプにて状態を表示 |
|
| フィラメント切替え | スイッチ操作で切替え ステータス表示ランプにて状態を表示 |
|
| センサー感度係数 | スイッチ操作にて設定可能 デフォルト値：0.19[Pa-1] |
|
| I/Oコネクタ | Dサブ25ピンコネクタ(メス) 出力：6点 SP出力(SP1、SP2、SP3) ステータス出力(FIL ON、OVER、EMI FAIL) 入力：2点 リモートFIL ON リモートFIL OFF アナログ出力：1点 |
|
| ANALOG OUT コネクタ | BNCコネクタ アナログ出力 |
|
| 適合センサー | キヤノンアネルバ社製ヌードイオンゲージ NIG-2F及びNIG-2TF |
|
