ウエハ質量ガス分析

各種ウエハおよび、貼り合わせウエハからのガス分析によりプロセスの改善に貢献します。

製品の特長と利点

  • 微小ガス分析
  • 破壊・非破壊分析
  • 蓄積法による極小リークを計測
  • 真空プロセス評価、品質管理、工程解析に最適
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