デバイス質量ガス分析

各真空プロセス後のガス分析により、プロセスの改善に貢献します。

製品の特長と利点

  • 微小ガス分析
  • 破壊・非破壊分析
  • 蓄積法による極小リークを計測
  • 真空プロセス評価、品質管理、工程解析に最適
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