第58回 真空に関する連合講演会・第37回 表面科学学術講演会

来る2017年8月17日（木）から8月19日（土）まで「58回 真空に関する連合講演会・第37回 表面科学学術講演会」が、横浜市立大学 金沢八景キャンパスにて開催されます。
皆様のご来場をお待ちしております。

◆口頭講演
8月17日（木）　C会場　真空「薄膜、プラズマ科学技術,その他」　9:00～　
講演番号：1Ca05
講演タイトル：反応性HiPIMSに於ける高速度カメラを用いたプラズマ挙動計測
著者：（^1）東京電子,²⁾岡山理科大）○黒岩雅英^1）,岡野忠之^1）,中谷達行^2）,山本耕平^2）　*○発表者

8月19日（土）　C会場　真空「真空科学技術」　13:00～　
講演番号：3Cp05
講演タイトル：超低ガス放出の四重極型質量ガス分析計
著者：（^1）東京電子）○岸川信介^1）,佐々木優直^1）,土屋孝能^1）,黒岩雅英^1）　*○発表者

◆併設展示会
日時：2017年8月17日（木）13：30（予定）～17：00　8月18日（金） 9：00～17：00
展示製品（予定）：極高真空製品、成膜（HiPIMS）用電源

◆企業プレゼンテーション
日時：2017年8月17日（木）12：35～12：50
会場：C会場（Y401）

日本真空学会のHPも合わせてご覧ください→日本真空学会HP