» 2018年日本表面真空学会学術講演会のお知らせ

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021講演のお知らせ

弊社は下記学会にて講演をいたします。
【ISPlasma2021/IC-PLANTS2021】
http://www.isplasma.jp/index.html

開催日時:2021年3月7日(日)~3月11日(木)
開催形式 :オンライン
講演タイトル:Development of the arc restraint type HiPIMS power supply to achieve highperformance film formation
講演番号 : SI 1218
発表者 : 東京電子 黒岩雅英
発表日時 : 3月9日(火)18:15~
【発表概要】
 HiPIMSの課題であるアーク異常放電と成膜レートの低さを解決させた
アーク抑制型HiPIMS用パルス電源の開発について

皆様のご来場、お待ちしております。

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