BeCuテクノロジーが半導体製造に貢献！　　　　　　　　　　　　サポインを活用したミニマルMBE装置の開発

ミニマルファブ（Minimal Fab）は、半導体の製造プロセスを極力簡素化し、効率的かつ柔軟な生産を可能にする、産業技術総合研究所で発案し、これまで国プロなどで実証を行ってきた概念です。従来の大規模なクリーンルーム内に設置する半導体製造設備に比べ、ハーフインチ（0.5インチ）のウェハを用い、各プロセス装置内を局所クリーン化し、装置間もミニマルシャトルによりクリーン環境を維持したまま搬送することで、通常の室内環境に置かれた小規模なシステムで、迅速に生産することを目指しています。

東京電子は令和５年度戦略的基盤技術高度化・連携支援事業戦略的基盤技術高度化支援事業（サポーティングインダストリー）を活用し「インフラ検査向高精度磁気センサの多品種少量生産に向けたミニマル装置開発と基盤プロセス確立」というテーマで三年間の事業期間で本年3月にTMRセンサーへの磁気成膜を行う為のミニマルMBE装置の開発を完了しました。