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2020年日本表面真空学会学術講演会、
および実用新技術セミナー、デジタル展示会出展のお知らせ

2020年日本表面真空学会学術講演会・実用新技術セミナー(Online開催)

来る2020年11月17日(火)~21日(土)までに行われる学術講演会・実用新技術セミナー・デジタル展示会に出展いたします。
多くの皆様のご来場をお待ちしております。

*参加方法、詳細は日本表面真空学会のHPをご覧ください↓ 
  https://www.jvss.jp/annual/mtg2020/index.htm

【2020年日本表面真空学会学術講演会】 ※有料
一般講演
1件目:講演番号 2Ep11
2020年11月20日(金) 15:30~15:45
講演タイトル: J-PARC RCSにおける大強度ビーム運転の圧力上昇
発表者:日本原子力研究開発 神谷 潤一郎
東京電子株式会社 和田 薫 (共著者)
著者:神谷 潤一郎 ¹, 古徳 博文 ¹, 黒澤 俊太¹, 高野 一弘 ¹, 栁橋 亨¹, 山本 風海 ¹, 和田 薫²
¹日本原子力研究開発機構, ²東京電子株式会社
発表形式:口頭発表(Zoom)

2件目:講演番号 3Ba01 (産業賞受賞講演)
2020年11月21日(土) 9:00~9:30
講演タイトル: 高機能成膜を実現させるアーク抑制型HiPIMS電源の開発
発表者:東京電子株式会社 黒岩雅英
著者:黒岩 雅英¹, 岡野 忠之¹, 中谷 達行², 福江 紘幸³
¹東京電子株式会社,  ²岡山理科大学フロンティ理工学研究所,  ³岡山理科大学大学院工学研究科
聴講方法: 口頭発表(Zoom)

【実用新技術セミナー】 ※無料
学術講演会の併催事業である実用新技術セミナーにて弊社講演を行います。
2020年11月17日(火) 14:45~15:00
表題: 低ガス放出・低温化で小型成膜装置に貢献する新しい真空構造材0.2%BeCuのご紹介
聴講方法 :口頭発表(Zoom)

【デジタル企業展示】 ※入場料無料
日時 : 2020年11月21日(火)~11月21日(土)
展示内容 :
〔真空計〕
フルレンジゲージ、ミニチュアイオンゲージ、極高真空ゲージなどを紹介します。
〔質量分析計〕
 四重極質量分析計WATMASS-MPH、インフィコン社四重極質量分析計
Transpectorシリーズを紹介します。
〔0.2%BeCu合金〕
 ステンレス鋼に代わる0.2%BeCu合金のニップル(配管)、キューブ(継手)、フランジ、チャンバを紹介します。
〔吸着型極高真空ポンプ〕
BeCu合金のマジックNEG、アトマイズ法のAG-NEGを紹介します。
〔超高感度ガス分析システム〕
 超低ガス放出質量分析システムを紹介します。
〔HF-HiPIMSパルス電源〕
 アーク異常放電抑制型のHiPIMSを紹介します。



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