スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP 部会） SP部会賞受賞記念講演のお知らせ

この度公益社団法人日本表面真空学会　スパッタリングおよびプラズマプロセス技術
部会（SP 部会）のSP部会賞を受賞し下記の通り受賞記念講演を行うこととなりました。
ご多忙のことと存じますが、ぜひご参加くださるようご案内申し上げます。

演　題：「アーク抑制および成膜レート向上を目的とした大電力パルススパッタ電源
の技術開発」

講演者：東京電子株式会社　黒岩雅英

日 時： 2020 年9 月7 日（月）13:00～16:45
場 所： Web 会議形式
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