製品の特長と利点
- Duty範囲が10%～90%のパルスモード、およびDCモードの多彩な運転パターンに対応
- インバータ1次回路電流検出、そして出力電流検出の2つの方法によりアーク異常放電を遮断
納入実績
- スパッタ装置
- 成膜実験装置
- プラズマ発生源
製品仕様
| 出力 | 電圧：最大約1,100V 定格800V（波高値） 電流：最大1.25A（波高値） 電力：最大500W（平均値） 周波数：1.01kHz ～ 150kHz（周期：6.6μs～990.0μs） Duty：10% ～ 90% |
| 操作機能 | ローカル/リモート切替：押釦スイッチ ※リモートはオプション機能 ローカル機能 電源ON/OFF：押釦スイッチ RESET：押釦スイッチ（MODE SEL & OUTPUTSEL押釦同時押し） MODE SEL：押釦スイッチ OUTPUT SEL：押釦スイッチ SET：ポテンショメータ Tcyc SET(周期設定)：サムロータリースイッチ Ton SET(ON時間設定)：サムロータリースイッチ |
| 表示 | OUTPUT：出力表示3－1/2桁（出力電力／出力電流／出力電圧） W／mA／V：OUTPUT SEL選択によるLED表示 CP/CC/CV：MODE SEL選択によるLED表示 READY：準備完了表示 インターロック表示＆保護機能 ・ARC：DC出力過電流＆パルス出力過電流 ・CVP：DC出力過電圧 ・TEMP：半導体過熱 ・FUSE：ヒューズ溶断 |
| 制御方式 | 直流電源部出力の定電力制御（CP） 直流電源部出力の定電流制御（CC） 直流電源部出力の定電圧制御（CV） ＊制御については、CP/CV/CCの切り替え方式とします |
| 冷却方法 | 強制空冷式 |
| 寸法 | 幅 480mm×高さ 150mm×奥行 600mm（突起物を除く） ラックマウント ( EIA ) 取付対応 |
