電源装置事業
東京電子は、パルスパワーによる最高パフォーマンスの電源装置を造り出しています。大電力パルス、高電圧パルスがもたらす瞬間パワー。核融合実験炉のプラズマ発生、あるいは電子デバイスの成膜工程など、このパルステクノロジーは、サスティナブルなエネルギーのための核融合研究、あるいは豊かな先進社会を構築する高機能電子デバイスの開発に貢献しています。
核融合においてプラズマ加熱をするための、高周波加熱装置ジャイロトロン駆動用高電圧パルス電源システムです。
超電導ソレノイド電磁石、ビームライン電磁石などに使われる電源装置を提供します。
HiPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering）電源です。低いデューティ比で集中させた高い電力を瞬間的にカソードに投入することで、高密度のプラズマを形成します。
成膜用実験装置、プラズマ発生用、デバイス試験用など、さまざまな用途に応じたパルス電源を提供します。
加速器・クライストロン向け、小型・軽量型など、さまざまなお客様要望にお応えするイオンポンプ電源を提供します。
関連するコラムが登録されていません
