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クリスタル/コールドカソード コンビネーションゲージCC-10

クリスタル/コールドカソード コンビネーションゲージ CC-10

CC-10のコンセプト

・クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせた複合型の真空計
・超高真空(1.0×10-7 [Pa])~大気圧(1.0×105 [Pa])の12桁に及ぶ広い範囲を計測可能
・回路とセンサーが一体で、コントローラの設置スペースを節減

CC-10は欧州規格 EN(CE)に対応。RoHS規格に準拠した環境にやさしい製品です。

RoHSCE
お客様の要望に応えた結果です。

1.大気圧から高真空までを切り換え操作無しで計測できる真空計が欲しい!

クリスタルゲージとコールドカソードゲージをコンビネーションさせ1.0×10-7 [Pa] ~ 1.0×105 [Pa]まで切り換え操作無しで計測できることを実現

→特長1:広い測定範囲

2.装置設計の時,真空計設置スペースを節減したい!

センサーの小型化とトランスデューサー型(コントローラ/センサー 一体型)にする事により省配線、省スペースを実現

→特長2:広帯域計測が1台で可能だから、3台分の計測が1台でOK

3.大気ベントの際,ウエーハの汚染を防止したい!

クリスタルゲージの採用により正確な大気圧の検出が可能。それにより圧力差によるダスト舞上げを防止!また、ピラニ真空計にはない精度の良い荒引き領域の計測が実現!

→特長3:正確に大気圧検知ができるクリスタルゲージ

4.フィラメント焼損などの不具合が無く,壊れないゲージが欲しい!

フィラメントを持たないコールドカソードゲージの採用

→特長4:堅牢なコールドカソードゲージの採用

5.メンテナンスを容易にしたい!

構造がシンプルなのでその場でクリーニングが容易に出来る

→特長5:イージーメンテナンス

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