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スパッタ用DC電源 2

スパッタ用 1.5kW DC電源
「スパッタリング」とは、真空成膜技術のひとつで物理的蒸着法(PVD:Physical Vapor Deposition)の一種です。高いエネルギーを持った原子や分子が固体に衝突すると、その表面から原子が叩き出される現象を「スパッタ」と言い、この現象を利用して薄膜を形成する事を「スパッタリング」と呼んでいます。

特長
(1)異常放電制御
負荷異常放電時には、負荷への電流を瞬時に遮断し、所定時間後(数十μsec~数百msec)自動復帰させます。異常放電制御動作時、パネル部LEDを点灯します。
(2)保護機能
保護機能(出力過電圧、過熱、ヒューズ、外部インターロック)動作時には、出力を停止します。復帰はリセット釦又は外部リセット信号により行います。
(3)低アーク処理(オプション)
DC出力部に半導体スイッチを設け、アーク検出後数μ秒で出力を遮断し、所定の時間後自動復帰します。

1500wdcps

製品仕様

製品名 スパッタ用 1.5kW DC電源
交流入力 定格入力:3相,50/60Hz,200V
入力範囲:180V~220V
受電容量:約2.2kVA
力率:約0.8(遅れ、定格出力時)
効率:約85%(定格出力時)
直流出力 定格電力:1500W
定格電圧:800V
最大電流:3.75A
最大無負荷電圧:約1050V
電圧電流範囲:右上図1500wdcdps電圧電流範囲
制御モード 定電力(CP)、定電流(CC)、定電圧(CV)の何れか選択
出力調整範囲 定電力制御:0~1500W / 定電流制御:0~3.75A / 定電圧制御:0~800V
(但し、各定格の0~20%では下記電圧リプルは保証しません。)
出力電圧リプル(抵抗負荷時) ・定電力制御時:±3%p-p以下(定格電力の20~100%)
・定電流制御時:±3%p-p以下(定格電流の20~100%)
・定電圧制御時:±3%p-p以下(定格電圧の20~100%)
静的制御特性 (a)負荷変動率
・定電力制御時:±1%以下(負荷変動1:2の時)
・定電流制御時:±1%以下(負荷変動1:4の時)
・定電圧制御時:±1%以下(負荷変動20~100%の時)
(b)電源変動率:±1%以下(入力180V~220VAC)
温度上昇 半導体:60deg以下(温度計法)
巻線・鉄心:A種絶縁 50deg以下(温度計法)
     :B種絶縁 70deg以下(温度計法)
絶縁 (1)絶縁抵抗
 筐体~入力・出力間、入力~出力間:DC500Vメガーにて10MΩ以上
(2)絶縁耐圧
 筐体~入力・出力間、入力~出力間:AC1.5kV,1分間で異常ないこと
定格 連続
冷却方法 強制風冷
操作モード 本電源は、リモートモードとローカルモードの2つの操作方法があり
電源投入時はリモートモードが選択されます。
外部インターフェース信号 出力ON/OFF、異常リセット、外部インターロック、出力設定、出力アンサー  電源異常、モニター信号
計測 (1)操作パネルにて、出力電力/電流/電圧を、切替スイッチにより任意に計測できます。
(2)設定値と出力値の誤差は、3%以下とします。
外形寸法、重量 H99mm×W480mm×D600mm
約15kg
使用環境 温度:0~40℃
湿度:35~90%(結露なきこと)
塗装色 マンセル 10YR8.5/0.5(ペールホワイト)

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