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高速パターン電源

高速パターン電源

成膜用電源として、100A/0.1msの立上り、立下りの高速応答が可能です。また、100A/0.1ms以下であれば電流/電圧を任意に設定することも可能となっております。リニア方式であることから、スイッチングノイズがなく低ノイズ化を実現しております。

s-dropper_ps立上立下

製品仕様

製品名 高速パターン電源
制御 定電流/定電圧制御
外形寸法 トランス盤 幅:600㎜ 高さ:1943㎜ 奥行:800㎜
Tr-BANK盤 幅:600㎜ 高さ:1943㎜ 奥行:800㎜
安定度 直流出力400A設定において0.1%以下
30V設定最大定格値において0.1%以下
リップル 定電流モードにて、400A設定において0.5%rms以下
定電圧モードにて、30V設定最大定格値において0.5%rms以下
電流 定格出力電流 0~800A(直流出力電流は400A上限)
設定値に対する実電流誤差 定格出力時 ±0.5%以下
実電流に対するモニタ誤差 電流モニタ ±0.5%以下 電流DPM ±0.5%以下
電圧 定格出力電圧 0~30V
設定値に対する実電圧誤差 定格出力時 ±0.5%以下
実電圧に対するモニタ誤差 電圧モニタ ±0.5%以下 電圧DPM ±0.5%以下
周波数特性 定電流にて3kHz(±3dB)以上
定電圧にて3kHz(±3dB)以上
立上り、立下り 電流設定800A / 0.8ms以下 *上記グラフ (電流設定100A / 0.1ms以下)
電圧設定15V / 0.1ms以下

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