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HiPIMS多段パルス用電源

HiPIMS多段パルス用電源

HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)とは、スパッタリングの一種で、低いduty比で集中させた高い電力を、瞬間的にカソードに投入することで高密度のプラズマを形成する手法です。この方法による成膜は、表面の平滑性が良い、緻密な膜ができる等、様々な利点がございます。
hipims

製品仕様

製品名 HiPIMS多段パルス用電源
装置構成 正極用DC電源1(P-DC Unit1)
正極用DC電源2(P-DC Unit2)
パルスユニットLF(Pulse Unit)※
パルスユニットHF(Pulse Unit)※
コントロールユニット(Control Unit)
制限抵抗器(R-Unit)
※パルスユニットについては、用途に応じどちらか選択可能
入力 電圧:3相200V±10%、50/60Hz
電流:37.7A(typ.)
電力:13.1kVA(typ.)
出力パルス(LFタイプ) 電圧(Vp1,Vp2):0~1000V、電流:100Amax
平均電力:0~5kW×2
周期(Tc):500μs~5000μs(周波数:2kHz~200Hz)
Duty:0.2%~95%(下記パルス幅設定で行う)
P出力パルス幅(Tp1 on):10μs~4750μs
P出力パルス幅(Tp2-1 on):10μs~4750μs
P出力パルス幅(Tp2-2 on):10μs~4750μs
P出力Tp2-2~ Tp2-1切替時間(Tp off):10μs~4750μs
出力パルス(HFタイプ) 電圧(Vp1,Vp2):0~1000V、電流:30Amax
平均電力:0~5kW×2
周期(Tc):6.66μs~66.6μs(周波数:150kHz~15kHz)
Duty:0.6%~95%(下記パルス幅設定で行う)
P出力パルス幅(Tp1 on):1μs~60μs
P出力パルス幅(Tp2-1 on):1μs~60μs
P出力パルス幅(Tp2-2 on):1μs~60μs
P出力Tp2-2~ Tp2-1切替時間(Tp off):1μs~60μs
DC電源(Vp1,Vp2 各1台) 入力:3P, AC200V±10%
出力:電圧 0~1000V、電流 0~5A、電力 0~5kW
制御:CV/CC/CP 選択
操作:リモート/ローカル 選択
表示:出力電圧/電流/電力 切替
平均電力は、Vp1,Vp2各DC電源の電力表示の和とする
コントロールユニット ・機能
DC電源ON/OFF
正極Vp1及び正極Vp2電圧設定
周期設定:サムロータリーSW
パルス幅設定:サムロータリーSW
・表示
電圧表示:3-1/2桁パネルメータ
電流ピーク表示:3-1/2桁パネルメータ
制限抵抗器 容量:3kW程度
機能:負荷とのインピーダンス整合を取ることと
負荷短絡時の過大電流からパルスユニットを保護します。
負荷と直列に挿入されるため、この抵抗器での電圧分担が生じます。
この結果、負荷に供給される電圧(電力)は減少します。
寸法 600W-1280H-800D(キャスター除く)

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