スパッタ用 20kW DC電源
FPGA(field-programmable gate array)による柔軟なプログラム処理が可能な、高機能スパッタ用電源です。スパッタ用DC電源では、電圧電流の調整が容易な反面、成膜中に発生し均一な成膜の生成を妨げる、アーク放電への対策が必要となりますが、本製品はアークの異常放電を任意の設定値(時間、検出値)で抑え込む事が可能です。(高速スイッチにより数μsecで低ダメージの抑え込み:1mJ/kW以下)
*「スパッタリング」とは、真空成膜技術のひとつで物理的蒸着法(PVD:Physical Vapor Deposition)の一種です。高いエネルギーを持った原子や分子が固体に衝突すると、その表面から原子が叩き出される現象を「スパッタ」と言い、この現象を利用して薄膜を形成する事を「スパッタリング」と呼んでいます。
製品仕様
製品名 | スパッタ用 20kW DC電源 | |
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交流入力 | 3相 200V | |
直流出力 | 800V / 50A / 20kW Max | |
イグニッション電圧 | 1100V | |
寸法 | 3Uラック H132mm×W482mm×D700mm |
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