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スパッタ用DC電源 1

スパッタ用 20kW DC電源

FPGA(field-programmable gate array)による柔軟なプログラム処理が可能な、高機能スパッタ用電源です。スパッタ用DC電源では、電圧電流の調整が容易な反面、成膜中に発生し均一な成膜の生成を妨げる、アーク放電への対策が必要となりますが、本製品はアークの異常放電を任意の設定値(時間、検出値)で抑え込む事が可能です。(高速スイッチにより数μsecで低ダメージの抑え込み:1mJ/kW以下)dcsputtering

*「スパッタリング」とは、真空成膜技術のひとつで物理的蒸着法(PVD:Physical Vapor Deposition)の一種です。高いエネルギーを持った原子や分子が固体に衝突すると、その表面から原子が叩き出される現象を「スパッタ」と言い、この現象を利用して薄膜を形成する事を「スパッタリング」と呼んでいます。

 

製品仕様

製品名 スパッタ用 20kW DC電源
交流入力 3相 200V
直流出力 800V / 50A / 20kW Max
イグニッション電圧 1100V
寸法 3Uラック H132mm×W482mm×D700mm

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