スパッタ用 20kW DC電源

FPGA（field-programmable gate array）による柔軟なプログラム処理が可能な、高機能スパッタ用電源です。スパッタ用DC電源では、電圧電流の調整が容易な反面、成膜中に発生し均一な成膜の生成を妨げる、アーク放電への対策が必要となりますが、本製品はアークの異常放電を任意の設定値（時間、検出値）で抑え込む事が可能です。（高速スイッチにより数μsecで低ダメージの抑え込み：1mJ/kW以下）

＊「スパッタリング」とは、真空成膜技術のひとつで物理的蒸着法（PVD：Physical Vapor Deposition）の一種です。高いエネルギーを持った原子や分子が固体に衝突すると、その表面から原子が叩き出される現象を「スパッタ」と言い、この現象を利用して薄膜を形成する事を「スパッタリング」と呼んでいます。

製品仕様

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