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500W スパッタ用パルス電源

製品仕様

500wpulseps

製品名 500W スパッタ用パルス電源
出力 電圧:最大約1,100V 定格800V(波高値)
電流:最大1.25A(波高値)
電力:最大500W(平均値)
周波数:1.01kHz ~ 150kHz(周期:6.6μs~990.0μs)
Duty:10% ~ 90%
操作機能 ローカル/リモート切替:押釦スイッチ ※リモートはオプション機能
ローカル機能
 電源ON/OFF:押釦スイッチ
 RESET:押釦スイッチ(MODE SEL & OUTPUTSEL押釦同時押し)
 MODE SEL:押釦スイッチ
 OUTPUT SEL:押釦スイッチ
 SET:ポテンショメータ
 Tcyc SET(周期設定):サムロータリースイッチ
 Ton SET(ON時間設定):サムロータリースイッチ
表示 OUTPUT:出力表示3-1/2桁(出力電力/出力電流/出力電圧)
W/mA/V:OUTPUT SEL選択によるLED表示
CP/CC/CV:MODE SEL選択によるLED表示
READY:準備完了表示
インターロック表示&保護機能
・ARC:DC出力過電流&パルス出力過電流
・CVP:DC出力過電圧
・TEMP:半導体過熱
・FUSE:ヒューズ溶断
制御方式 直流電源部出力の定電力制御(CP)
直流電源部出力の定電流制御(CC)
直流電源部出力の定電圧制御(CV)
*制御については、CP/CV/CCの切り替え方式とします
冷却方法 強制空冷式
寸法 幅 480mm×高さ 150mm×奥行 600mm(突起物を除く)
ラックマウント ( EIA ) 取付対応

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