» スパッタ用パルス電源

スパッタ用パルス電源

スパッタ用パルス電源

DC800Vを作る直流安定化電源と、パルスを生成するMOSFETスイッチにより構成されます。

製品仕様

製品名 スパッタ用パルス電源
入力 単相 200V±10% 50/60Hz
出力 電圧:最大約1100V(サージ電圧)  定格800V(波高値)
電流:最大1.25A(波高値)
電力:最大平均値500W
周波数:1k~150kHz(周期:6.6μs~1000μs)
Duty:10~90%
制御方式 定電力(CP)/ 定電圧(CV)/ 定電流(CC)の切り替え方式

スパッタ用パルス電源に関するお問い合わせは
こちらをクリック
 

関連記事

XHV 極高真空製品
Extreme High 
 Vacume Products English  brochure
インフィコン残留ガス分析計
HiPIMS用パルス電源
お問い合わせ
電源装置の
受託開発・施策を受け付けます
CC-10
日本真空協会
日本真空工業会
一般社団法人 電気学会
ページ上部へ戻る