» 四重極型残留ガス分析計(RGA)

四重極型残留ガス分析計(RGA)

米国インフィコン(INFICON)社 トランスペクター(Transpector)シリーズ

弊社は、四重極型残留ガス分析計(RGA)の分野で世界をリードするインフィコン社代理店として、お客様の真空アプリケーションニーズに最適な機器をご提供いたします。
以下に代表的なインフィコン社の製品トランスペクター MPS/MPH, XPR3およびCPMをご紹介いたします。

残留ガス分析計 (RGA: Residual Gas Analyzer) では、高真空対応のトランスペクター MPS/MPH が業界最高クラスの測定速度、最小検知分圧 (MDPP: Minimum Detectable Partial Pressure) 、S/N比を実現しています。ランニングコストが低く、平均故障間隔 (MTBF: Mean Time Between Failure) の長いトランスペクターMPS/MPH は、市場における他のRGA製品群に比較してより多くの価値と利益を提供します。

トランスペクター XPR3は小型の四重極をベースとしたPVD専用のプロセスモニターです。一連の技術革新により、2.6Paから高真空まで広い範囲で活用でき差動排気装置を不要としました。また、成膜圧力における2次電子増倍管 (EM) の活用により、高精度のモニターが可能です。

トランスペクター CPMは、新たに設計された電子技術と現場で実証された排気系および、インレットシステムの統合により、業界最先端の測定速度と感度を実現したプロセスモニターです。長寿命のクローズドイオンソース (CIS: Closed Ion Source) の採用により、稼働時間の最大化を実現しております。トランスペクターCPMは、市場で最も信頼と汎用性に優れた高真空から大気圧までの幅広い圧力領域での測定を可能にしたコンパクトな差動排気型のプロセスモニターであり続けます。

下記ボタンより、製品別の詳細仕様をご覧いただき、どうぞお気軽にお問い合わせ下さい。

 

  • 直流電源
  • パルス電源
  • 高圧電源
  • 高電圧半導体スイッチ
XHV 極高真空製品
Extreme High 
 Vacume Products English  brochure
インフィコン残留ガス分析計
HiPIMS用パルス電源
お問い合わせ
電源装置の
受託開発・施策を受け付けます
CC-10
日本真空協会
日本真空工業会
一般社団法人 電気学会
ISO
ページ上部へ戻る