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ラムダ真空計

バックグラウンド

サポーティングインダストリ-(*)採択に向けキャノンアネルバ殿より「汎用型ラムダ真空計の開発<制御電源部・ソフトウェア>」の開発依頼を受ける。
キヤノンアネルバ殿、VISTA殿、ホリゾン殿、東京電子4社にてコンソーシアムを組み「新原理による高信頼・高精度の全圧/分圧真空計の開発」として委託開発認定を受け開発スタートした。
(*)経済産業省の戦略的基盤技術高度化支援事業に基づく委託開発事業(平成21~23年度)

開発の概要

1.開発目標

圧力測定範囲は10⁻8 ~1Paで、圧力の他に平均自由行程、イオン電流の表示を可能とする。
10⁻3Paにおけるイオン電流の計測精度を±0.05%以内とする。

ラムダ真空計

2.開発の成果

試作した制御電源において、イオン電流の擬似入力からの計算値と実測値の相違が10⁻3Paにおいても±0.05%以内であることを確認した。

計算値と実測値の相違

開発技術者コメント
真空技術部 松本信彦

真空技術部 部長 松本信彦

私は、クリスタル/コールドカソードコンビネーションゲージ「CC-10」など、様々な真空計の設計・開発に携わってまいりました。同じ真空計ではありますが、ラムダ真空計はその名の通り、気体分子の平均自由工程(λ)に注目した新原理の真空計ということで技術的な課題が多数あり、それはセンサーだけではなく、当社が携わった「制御電源、ソフトウェア」においても同様でした。課題を1つずつ解決していく過程は非常に地道な作業で、常に困難が付きまといましたが、最終的には十分な成果を得ることが出来たと自負しております。サポインという枠組みの中での仕事は初めての経験でしたが、今後の技術開発にも大いに活用し、新製品の拡充を図りたいと考えています。

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