ISSP2019　ポスター発表の件

ISSP2019　（The 15th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON SPUTTERING & PLASMA PROCESSES）

にて弊社の共同研究先のである岡山理科大学と共著でポスター発表を行います。

Schedule　：　Friday 14 Poster Session 15:20-16:40 Session : Sputtering Processes, POSTER II SP3-1p

Title : Spatial distribution diagnosis of plasma by emission spectroscopy in DLC films formation

using bipolar HiPIMS method

Hiroyuki Fukue*1), Yuga Koyama2), Tadayuki Okano3), Masahide Kuroiwa3),

　　　 Shinsuke Kunitsugu4), Tatsuyuki Nakatani5),

1) Graduate School of Engineering, Okayama University of Science, Japan,

　　　 2) Faculty of Engineering, Okayama University of Science, Japan,

　　　 3) Tokyo Electronics Co., Ltd., Japan,

　　　 4) Industrial Technology Center of Okayama Prefecture, Japan,

　　　 5) Research Institute of Technology, Okayama University of Science, Japan

プログラム情報は下記となります。↓

会期　：　2019年6月11日～14日

場所　：　金沢工業大学　扇が丘キャンパス　石川県野々市市扇が丘7-1

ISSP公式HPはこちらとなります。↓

皆様のご参加を心よりお待ちしております。