» VACUUM 2018 真空展 出展者ワークショップのご案内

VACUUM 2018 真空展 出展者ワークショップのご案内

VACUUM 2018 真空展 出展者ワークショップ

日時:9月5日(水)15:40~16:10 (NO:A-5)
会場:パシフィコ横浜 展示ホール内ワークショップ会場

タイトル:アークレスなHiPIMS用パルス電源の紹介
内容:成膜にダメージを及ぼすアーク異常放電をパルスの波形により制御させ、平均電力を上げることで
成膜レートを向上させた、画期的なHiPIMS用パルス電源をご紹介いたします。

皆様のご来場、お待ちしております。

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