» スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)

◆第13回技術交流会・第151回定例研究会

日 時: 2016年12月8日(木) 13:00~18:30

場 所: 機械振興会館 地下2階 B2-1 号室
     東京都港区芝公園3-5-8(東京タワー前)

弊社では、SP部会技術交流会において、ポスター発表とショートプレゼンテーションを行います。

発表演題:医療用DLC成膜を実現するパルススイッチ技術の応用によるHiPIMSプロセス制御
著者:黒岩雅英*,岡野忠之,山本耕平,中谷達行 *発表者

SP部会では、会員相互の技術情報交換の場を提供するために、技術交流会を企画しています。毎回ご好評をいただいており、今年で13回目となります。ショートプレゼンテーションとポスター発表をあわせた形とし、かつポスターセッションは懇親を兼ねる形といたします。通常の定例研究会では、会員相互が情報を交換する機会が限定され、せっかく同じ部会に所属していることのメリットを十分に活かせておりませんでした。この技術交流会を機会に是非会員相互で有益な技術情報を交換していただき、会員各社のさらなる技術的発展につながればと考えております。
部会員以外の方の参加も歓迎いたします。皆様の奮ってのご参加をお待ちしております。
(日本真空学会HPより抜粋)

日本真空学会のHPも合わせてご覧ください→日本真空学会HP

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