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2018年日本表面真空学会学術講演会のお知らせ

2018年日本表面真空学会学術講演会

来る2018年11月19日(月)から11月21日(水)まで
「2018年日本表面真空 学会学術講演会」が、神戸国際会議場にて開催されます。
弊社ではセッションにおいて3件の講演、およ び併設展示会への出展をいたします。
多くの皆様のご来場をお待ちしております。

会議開催期間: 2018年11月19日(月),20日(火)(懇親会),21日(水)
会場:神戸国際会議場 (〒650-0046 兵庫県神戸市中央区港島中町6-9-1)
交通アクセス:JR神戸線 三宮駅よりポートライナーで約10分 市民広場駅下車すぐ

◆部会セッション
下記内容で講演をいたします。

1件目 : 薄膜(TF)
講演番号:3Fp10
講演タイトル:ターゲットの物理的組成が及ぼすHiPIMSの平均電力密度特性
著者:○黒岩雅英1,岡野忠之1,福江紘幸2,中谷達行3
(東京電子1, 岡山理大院工2,岡山理大技科研3)*○発表者

2件目 : 真空科学技術(VST)
講演番号: 2Cp04
講演タイトル:超高感度 質量ガス分析装置
著者:〇岸川信介1, 佐々木優直1, 黒岩雅英1, 林雄造2, 新井健太3, 吉田肇3
(東京電子1, 真空実験室2, 産総研3)*〇発表者

3件目 :スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会:広がるスパッタ成膜技術−現状と展望
講演番号:2Dp08S
講演タイトル:HiPIMS法を用いたDLC成膜におけるターゲットの物理的特性が及ぼすアーキング低減効果
著者:○福江紘幸1,岡野忠之2,黒岩雅英2,中谷達行3
(岡山理大院工1,東京電子2,岡山理大技科研3)*○発表者

◆併設展示会
日時:2018年11月19日(月)12:00~17:00  11月20日(火) 9:00~17:00

展示製品(予定):極高真空製品、成膜(HiPIMS)用電源

日本表面真空学会のHPも合わせてご覧ください

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