» 第57回 真空に関する連合講演会・第36回 表面科学学術講演会

第57回 真空に関する連合講演会・第36回 表面科学学術講演会

来る2016年11月29日(火)から12月1日(木)まで「57回 真空に関する連合講演会・第36回 表面科学学術講演会」が、名古屋国際会議場にて開催されます。弊社では併設展示会への出展及びオーガナイズドセッションにおいて講演をいたします。多くの皆様のご来場をお待ちしております。

◆併設展示会

日時:2016年11月29日(火)12:00~17:00 11月30日(水)9:00~17:00

会場:名古屋国際会議場 2号館 3階

展示ブース:XB14

展示製品(予定):極高真空製品、成膜(HiPIMS)用電源

◆オーガナイズドセッション(スパッタリング成膜技術の新展開)

オーガナイズドセッションにて下記内容で講演をいたします。
・講演番号:2Cp03
・講演タイトル:HiPIMS法による医療インプラントに最適なDLC成膜とパルス電源の開発
・著者:○黒岩 雅英 1 , 岡野 忠之 1 , 中谷 達行 2 (東京電子株式会社 1 岡山理科大学 2 *○発表者)

*オーガナイズドセッションとは、特定分野の研究成果に関わる学術的な議論をより活性化し、学術情報の交換と新たな知識の創造の場として設けられるものです。

(オーガナイザーからのメッセージ)
スパッタリング成膜技術は,従来技術の高度化と新規なスパッタ成膜技術の進展を成し遂げつあります。
従来技術の高度化では気相反応や膜堆積プロセスの理解、基板入射粒子制御に基づく薄膜物性制御が進展しています。また、新規スパッタ技術としてHiPIMSと呼ばれる高強度パルスマグネトロンスパッタ成膜技術が世界中で応用され始めています。

日本真空学会のHPも合わせてご覧ください→日本真空学会HP

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